超精密零件加工精度以奈米，即使最后以氫原子基層單位(氫原子晶體距為0.1～0.2奈米)為最終目標(biāo)時(shí)，超精密零件研磨加工方法已無(wú)法適應(yīng)，須要借助于軍用精密零件加工的方法，即應(yīng)用領(lǐng)域機(jī)械能、電機(jī)械能、熱能或熱能等，使那些熱量超越中心氫原子的電阻率，進(jìn)而除去鉆孔表層的部份中心氫原子的粘附、緊密結(jié)合或晶體形變，以達(dá)至超精密加工的目的。歸屬于這類(lèi)加工的有機(jī)械化學(xué)拋光、陽(yáng)離子噴發(fā)物和醇酸樹(shù)脂、電子束曝射、電子束加工、金屬金屬粉末和大分子束徑向等。這些超精密零件加工方法的特點(diǎn)是對(duì)貝狀化學(xué)物質(zhì)除去或加進(jìn)的量能作極微小的掌控。但是要贏得超精密零件加工精度，仍有布季夫精密的加工設(shè)備和精確的掌控技術(shù)，并選用超精密面版作中介機(jī)構(gòu)物。比如超大體量器件的重制就是選用電子束對(duì)面版上的光致抗蝕劑（見(jiàn)顯微）展開(kāi)曝射，使光致抗蝕劑的氫原子在電子碎裂下間接裂解(或降解)，皮德蓋顯影把裂解過(guò)的或未裂解過(guò)的部份熔化掉，做成面版。電子束曝射重制須要選用滾珠軸承功能定位精度高達(dá)±0.01nm的超精密加工設(shè)備。

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